电子级超纯水中国国家标准（GB/T11446.1-1997）
发布时间:2017-09-12 15:26:35 阅读次数:3285
| 目 级别 | 比电阻 MΩ.cm@25℃ | 硅 ≤ μg/L | >1μm 微粒数 < 个/ml | 细菌 个数 < 个/ml | 铜 ≤ μg/L | 锌 ≤ μg/L | 镍 ≤ μg/L | 钠 ≤ μg/L | 钾 ≤ μg/L | 氧 ≤ μg/L | 硝酸根 ≤ μg/L | 磷酸根 ≤ μg/L | 硫酸根 ≤ μg/L | 总有 机碳 ≤ μg/L |
| EW-Ⅰ | 18（95%的时间不低于17） | 2 | 0.1 | 0.001 | 0.2 | 0.2 | 0.1 | 0.5 | 0.5 | 1 | 1 | 1 | 1 | 20 |
| EW-Ⅱ | 15（95%的时间不低于13） | 10 | 5 | 0.1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 1 | 1 | 1 | 1 | 100 |
